[雅各宾专政内部的分歧]雅各宾专政取得了巨大的胜利，可是在它的内部却包含着必不可免的瓦解因素。革命专政和恐怖政策一度行之有效，完全出于形势所迫，只是权宜措施，绝非长久之计。在内忧外患的形势下，由各个社会阶层代表组成的革命领导集团内部可以保持一定程度的团结，忍辱负重，一致对外。一旦危象解除，内部分歧顿现激化，从相互倾轧变成生死搏斗，终将导致专政的瓦解。
在雅各宾派内部明显地分为左、中、右三派，即埃贝尔派、罗伯斯比尔派和丹东派。斗争的中心问题是要不要严厉实行限价政策和采取恐怖措施。
各派都想执掌政权，操纵两委员会，斗争不断激化。
埃贝尔派是继忿激派之后城市下层群众激进运动的代表，他们控制着巴黎公社。埃贝尔认为，一切罪恶都是囤积居奇者造成的，唯一的补救办法是断头台。他说：“正如不能宽恕较大的商人一样，也不能宽恕卖胡罗卜的商人”，“小商店也和大商店一样坏。”他们指责丹东派是“催眠派，”指责罗伯斯比尔派是“新催眠派”。
丹东派较多地承继了吉伦特派经济自由主义的主张，并要求“爱惜人类的鲜血”，实行“宽容”政策，撤销治安委员会，成立“宽容委员会”。丹东声言：“对于那些要使人民的行动超出革命范围及提出极端革命措施的人，我要求大家不要信任。”丹东支持德穆兰创办《老科德利埃报》，猛烈抨击恐怖政策，坚决反对恐怖扩大化，矛头不仅指向埃贝尔派，而且指向罗伯斯比尔派。
处于中间地位，受到两面夹攻的罗伯斯比尔派则是主流派，他们掌握着救国委员会的实权。这场斗争从1793年 9月以后日渐加剧。罗伯斯比尔派起初是摇摆不定的。1793年11月狂热的反基督教运动造成严重混乱，罗伯斯比尔联合丹东使国民公会于1793年12月6日（共和二年霜月16日）通过了信仰自由令，从而给埃贝尔派以初步打击。丹东派于12月发动猛烈进攻，企图改组救国委员会，又使罗伯斯比尔对他们失去信任。12月25日（雪月5日），他对左右两派都作了谴责。
[恐怖走向极端和专政的瓦解]从1794年初起，罗伯斯比尔派迫于形势而继续向左转。2月26日和3月3日（共和二年风月8日和13日），圣茹斯特提出的风月法令规定：凡经审查被确认为“革命敌人”者应拘禁到和平实现时为止，其财产应被没收，无偿分配给“赤贫的爱国者”。此法令是极难实行的，事实上也始终未曾兑现，但它表明了罗伯斯比尔派继续推行恐怖政策的决心，既给予丹东派以沉重的打击，又企图剥夺埃贝尔派进攻的口实。
然而，埃贝尔派却想乘机举行暴动以夺取政权。
于是，罗伯斯比尔派决定分别镇压左右两派。3月13—14日夜间，逮捕了埃贝尔派主要代表人物埃贝尔、隆森等16人，于24日送上断头台。3月 30日夜间，逮捕了丹东派主要代表人物丹东、德穆兰等，4月5日丹东等20多人被送上断头台。在打击两派的同时，进一步加强了集权。3月27日解散了由埃贝尔派掌握的革命军； 4月1日取消了临时执行会议； 4月13日处决肖梅特，5月10日逮捕帕什，进而彻底改组巴黎公社，代之以由政府任命的官员。反对派被镇压了，政府的权力更集中了。但专政的群众基础也被瓦解了，掌权的罗伯斯比尔派陷于孤立。圣茹斯特已清楚地意识到这一点，他说：“要使恐怖政策不成为两面锋刃的武器是极困难的”，“革命已经冰冷了”。
罗伯斯比尔派曾指望再度鼓起群众的热情，以求革命的团结。他提倡理性崇拜，于5月7日（花月18日）发表关于宗教道德的演说，又于6月8日（牧月20日）举行了盛大的最高主宰节仪式。但是，在这些表面喧闹的底下，强大的新反对派暗流已在国民公会和两委员会内部形成。
救国委员会内部本来就存在着分歧。极左派俾约—瓦伦和科洛—德布瓦，对罗伯斯比尔等处决埃贝尔派、一度保护丹东派深感不满。温和派卡尔诺、兰代和科多尔郡的普里厄，对罗伯斯比尔等左倾的社会经济政策及恐怖措施极为反感。他们都反对罗伯斯比尔、圣茹斯特和库东的“三头政治”。
治安委员会同救国委员会之间有着权力之争，经常发生摩擦。瓦迪埃、阿马尔、服兰等人对罗伯斯比尔的权势感到不安。在国民公会中，塔利安、弗雷隆等一批人则对罗伯斯比尔步骤深怀恐惧。反对派的矛头集中指向罗伯斯比尔。关于他“独裁”、“专制”的指责时有所闻，刺杀他的事件也屡次发生。
遭到孤立的罗伯斯比尔派却在恐怖的道路上愈走愈远，决心清除所有反对派。1794年6月10日（牧月22日），库东向国民公会提出由他和罗伯斯比尔共同起草的“牧月法令”，虽遭强烈反对，仍获通过。该法令以含混的定义扩大了“敌人”的范围，宣布：“凡是与人民为敌的都是罪犯，所有企图使用暴力或使用阴谋来破坏自由的人都是人民的敌人。”法令取消了辩护人制度，规定：“被诬告的爱国者可由爱国的陪审官作辩护，法律决不允许阴谋分子有辩护人。”法令还取消了预审制度，在缺乏证据时，法庭可以根据“内心的确信”推断判案。审判程序大为简化。连国民公会议员也只要有救国委员会等的命令就可直接送交法庭审讯，而毋需通过议会决定。从此开始了所谓“大恐怖”阶段。
此一阶段恐怖的特点是，死刑判决数量激增，普通群众在死刑犯中所占比例明显上升。据统计，从1794年3月到6月10日的3个多月中，巴黎共处决1251人；从6月11日到7月26日（热月8日）的45天中，则处决1376人。7月间被处死刑者中，贵族和教士仅占 5%，中下阶层约占74.5%，其余为军政官吏。
[热月政变]无休止的恐怖不仅失去了广大群众的支持，也遭到了资产阶级本身的反对。诚如恩格斯所指出的，在反丹东派和埃贝尔派的斗争中罗伯斯比尔派获得了胜利，“但从那时起，对他来说，恐怖成了保护自己的一种手段，从而变成了一种荒谬的东西。”① 7月初，罗伯斯比尔已明显感到反对派人多势众，情绪一度消沉，不再出席救国委员会的会议。7月中旬，他把圣茹斯特从前线召回，决定发起进攻。26日（热月8日），罗伯斯比尔在国民公会发表长篇演说，指责政敌们在搞阴谋活动企图迫害他，声言要改组治安委员会、清洗救国委员会、惩罚叛徒。他没有具体指明谁是阴谋家，这使国民公会顿时鸦雀无声，人人自危。
反对派决定反击。次日，即热月9日，经过密谋策划，国民公会完全被反对派所控制，在“打倒暴君”的一片呼喊声中通过逮捕令，罗伯斯比尔、库东、圣茹斯特等人当场被捕。当晚，巴黎公社曾把罗伯斯比尔从狱中救出，但不久又被国民公会的军队逮捕。
热月10日（7月28日），罗伯斯比尔等22名雅各宾首领未经审判即被送上了断头台。热月11日，雅各宾派巴黎公社的 72名成员也被处死。雅各宾专政彻底垮台。热月政变意味着法国革命高潮阶段的终结。
雅各宾专政是法国革命整个历程中的一个阶段，是特定历史条件下的产物，是战争时期的非常政权。雅各宾专政完成了它的历史使命。它把第三等级各个阶级阶层可能调动的力量都调动起来，集中到前线，从而击退了内外反动势力的进攻，保卫了革命事业。它进一步荡涤了封建残余，把农民从封建制度和教会压迫下解放出来，从而为日后资本主义的发展扫清道路。它为了同城市平民结成联盟，甚至损及了本阶级的某些利益，从而使革命进程达到上升路线的顶点。它作为人民群众积极参与政治活动的资产阶级革命高潮阶段，具有十分典型的意义，对此后法国历次革命运动和其它一些国家的革命都曾产生过重大影响，留下了所谓“雅各宾主义传统”。